Выпуски журналаIssues of the journal
К списку номеров Back to the list К оглавлению Back to Contents номер страницы: 29page number: 29ПОВЫШЕНИЕ ИНЖЕКЦИОННОЙ И РАДИАЦИОННОЙ СТОЙКОСТИ НАНОРАЗМЕРНЫХ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК МДП-ПРИБОРОВ
Резюме:
Resume:
Исследованы режимы инжекционно-термической обработки структур металл – диэлектрик – полупроводник (МДП). Показано, что инжекционно-термическая обработка (ИТО) позволяет выявить и исключить структуры с грубыми дефектами изоляции и зарядовыми дефектами, при этом практически не снижается ресурс работы приборов на основе МДП-структур. Установлено, что проведение ИТО позволяет повысить инжекционную и радиационную стойкость наноразмерных диэлектрических пленок МДП-приборов за счет их модификации.
Ключевые слова: МДП-структура, наноразмерная диэлектрическая плёнка, контроль, инжекционный ток, зарядовое состояние, радиационное излучение.
№ 3 – 2011
Авторы:
Authors:
В. В. Андреев, Г. Г. Бондаренко, А. М. Михальков, А. А. Столяров, И. В. Соловьев. E-mail: andreev@bmstu-kaluga.ru; niipmt@cea.ru; p1kf@bmstu-kaluga.ru