Выпуски журналаIssues of the journal

 
К списку номеров Back to the list
К оглавлению Back to Contents
номер страницы: 40page number: 40

СИНТЕЗ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК УГЛЕРОДА С ПОМОЩЬЮ ИОННОГО ИСТОЧНИКА НА ОСНОВЕ ОТРАЖАТЕЛЬНОГО РАЗРЯДА С ПОЛЫМ КАТОДОМ

Резюме: Resume:
Проведено осаждение тонких алмазоподобных пленок на подложку из кремния с помощью ионного источника на основе отражательного разряда с холодным полым катодом. Осаждение проводили при различных условиях: варьировали давление (12 – 50 мПа) и состав (С3Н8, СН4, Н2) плазмообразующего газа, напряжение ускоряющего промежутка в диапазоне 0,5 – 5 кВ, температура подложки в диапазоне 20 – 850 °С. Синтезированные пленки исследовали методами инфракрасной (ИК) спектроскопии, спектроскопии комбинационного рассеяния света (КРС) и склерометрии.
Ключевые слова: алмазоподобные пленки углерода, плазма, газовый разряд, осаждение пленок, ионный источник, исследование пленок.
№ 3 – 2011

Авторы: Authors:
В. Я. Мартенс, В. А. Тарала, Е. Ф. Шевченко. E-mail: vmartens@yandex.ru; vitaliy-tarala@yandex.ru; shef@ncstu.ru