Выпуски журналаIssues of the journal

 
К списку номеров Back to the list
К оглавлению Back to Contents
номер страницы: 33page number: 33

СОЗДАНИЕ НАНОПОРИСТЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ КОМПОЗИТОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТЕХНОЛОГИИ ИОННО-СТИМУЛИРОВАННОГО ОСАЖДЕНИЯ (Р. Л. Василенко, А. В. Гончаров, А. Г. Гугля, Е. С. Мельникова, В. Г. Колобродов)

Резюме: Resume:

 

Изучены основные закономерности формирования V – N – He тонких пленок, осаждаемых в условиях бомбардировки смешанными пучками высокоэнергетичных ионов азота и гелия, исследованы их структурно-фазовые, электрофизические и адсорбционные характеристики. Данные электронно-микроскопического анализа доказывают, что формирование структуры V – N – He-соединений происходит в условиях конкуренции нескольких проходящих одновременно процессов, которые приводят к формированию нанокристаллической структуры, содержащей микропоры размером от 5 нм до 5 мкм. Рассмотрена роль ионной бомбардировки и адсорбции газа из остаточной атмосферы в формировании пористости. Сопоставление данных Резерфордовского обратного рассеяния (РОР) и профилометрии позволило определить величину пористости пленок — 27%. В диапазоне исследованных давлений водорода (до 0,35 МПа) было адсорбировано до 7 вес.% Н. Показано, что основная часть водорода аккумулируется порами. Количество адсорбируемого газа определяется величиной пор, их распределением и составом газовой среды в них.

Ключевые слова: нанопористые структуры, ионная стимуляция, адсорбция водорода, нитрид ванадия.

 

Василенко Руслан Леонидович — Национальный научный центр ”Харьковский физико-технический институт” (г. Харьков, Украина), младший научный сотрудник. Специалист в области физики твердого тела и радиационного материаловедения.

Гончаров Александр Васильевич — Национальный научный центр ”Харьковский физико-технический институт” (г. Харьков, Украина), кандидат физико- математических наук, старший научный сотрудник. Специалист в области ядерно-физических методов исследования.

Гугля Алексей Григорьевич — Национальный научный центр ”Харьковский физико-технический институт” (г. Харьков, Украина), доктор технических наук, ведущий научный сотрудник. Специалист в области наноструктурного материаловедения, физики твердого тела, физики тонких пленок. E-mail: guglya@kipt.kharkov.ua.

Мельникова Елена Сергеевна — Национальный научный центр ”Харьковский физико-технический институт” (г. Харьков, Украина), младший научный сотрудник. Специалист в области адсорбции газов, физики твердого тела

Колобродов Виктор Георгиевич  — Национальный научный центр ”Харьковский физико-технический институт” (г. Харьков, Украина), научный сотрудник. Специалист в области адсорбции газов, физики твердого тела. Скончался в 2011 году. 

№2 - 2012

Авторы: Authors:
Р. Л. Василенко, А. В. Гончаров, А. Г. Гугля, Е. С. Мельникова, В. Г. Колобродов.