Выпуски журналаIssues of the journal

 
К списку номеров Back to the list
К оглавлению Back to Contents
номер страницы: 62page number: 62

СВОЙСТВА НИЗКОЭМИССИОННЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ Ag И Сu, НАНЕСЕННЫХ НА ПОЛИМЕРНУЮ ПЛЕНКУ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ (А. Н. Захаров, Н. Ф. Ковшаров, К. В. Оскомов, С. В. Работкин, А. А. Соловьев, Н. С. Сочугов)

Резюме: Resume:

Приведены результаты экспериментов по нанесению на полиэтилентерефталатную (ПЭТФ) пленку многослойных низкоэмиссионных покрытий со структурой “оксид – металл – оксид” методом магнетронного распыления. Исследованы составы покрытий, которые бы обеспечили их высокую влагостойкость и возможность эксплуатации вне герметичных стеклопакетов. Предложены покрытия со структурой TiO2/ZnO:Ga/Ag/ZnO:Ga/TiO2 и TiO2/Cu/TiO2, изучены их оптические и электрофизические характеристики. Определены оптимальные толщины слоев покрытия, позволяющие получить наилучшее соотношение прозрачности покрытия в видимом диапазоне с отражением в ИК-области спектра. Показано, что низкоэмиссионные покрытия на основе Ag обладают более высокой прозрачностью (82 %) и отражением в ИК-области (93 %) чем покрытия на основе Cu, для которых данные характеристики составляют 60 % и 84 %, соответственно.

Ключевые слова: низкоэмиссионные покрытия, полимерная пленка, ПЭТФ, магнетронное распыление, энергосберегающие технологии, многослойные структуры.

 

Захаров Александр Николаевич — Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск), кандидат технических наук, научный сотрудник. Специалист в области магнетронного осаждения тонкопленочных покрытий. E-mail: zare17@yandex.ru.

Ковшаров Николай Федорович — Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск), кандидат технических наук, научный сотрудник. Специалист в области элетрофизики. E-mail: knf12005@yandex.ru.

Оскомов Константин Владимирович — Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск), кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник. Специалист в области материаловедения и физики твердого тела. E-mail: oskomov@lae.hcei.tsc.ru.

Работкин Сергей Викторович — Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск), кандидат технических наук, научный сотрудник. Специалист в области магнетронного осаждения тонкопленочных покрытий. E-mail: rabotkin@yandex.ru.

Соловьев Андрей Александрович — Томский политехнический университет (Томск), кандидат технических наук, доцент. Специалист в области магне- тронного осаждения тонкопленочных покрытий. E-mail: andrewsol@mail.ru.

Сочугов Николай Семенович — Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск), кандидат физико-математических наук, заведующий лабораторией прикладной электроники. Специалист в области электрофизики, осаждения тонкопленочных покрытий. E-mail: sochugov@lae.hcei.tsc.ru. 

№2 - 2012

Авторы: Authors:
А. Н. Захаров, Н. Ф. Ковшаров, К. В. Оскомов, С. В. Работкин, А. А. Соловьев, Н. С. Сочугов.