Выпуски журналаIssues of the journal
К списку номеров Back to the list К оглавлению Back to Contents номер страницы: 31page number: 31ИНЖЕКЦИОННАЯ МОДИФИКАЦИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЛОЕВ СТРУКТУР МЕТАЛЛ – ДИЭЛЕКТРИК – ПОЛУПРОВОДНИК ПРИ РАЗЛИЧНЫХ ТЕМПЕРАТУРАХ (В. В. Андреев, Г. Г. Бондаренко, А. А. Столяров, С. И. Коротков)
Исследованы процессы изменения зарядового состояния структур металл – диэлектрик – полупроводник (МДП) с многослойными диэлектрическими плёнками SiO2 – фосфорно-силикатное стекло (ФСС) при сильнополевой инжекционной модификации, проводимой при различных температурах. Изучено влияние температуры на термостабильную компоненту отрицательного заряда, используемую для коррекции порогового напряжения МДП-транзисторов. Установлено, что выполнение сильнополевой инжекционной модификации МДП-структур в режиме поддержания постоянного тока при повышенных температурах увеличивает не только плотность захватываемого отрицательного заряда, но и его термостабильную компоненту.
Ключевые слова: МДП-структура, тонкие пленки, сильные электрические поля, модификация подзатворного диэлектрика, диоксид кремния, фосфорно-силикатное стекло (ФСС).
Андреев Владимир Викторович — Калужский филиал Московского государственного технического университета им. Н.Э.Баумана, доктор технических наук, профессор. Специалист в области физики полупроводниковых и диэлектрических материалов. E-mail: andreev@bmstu-kaluga.ru.
Бондаренко Геннадий Германович — Московский институт электроники и математики Национального исследовательского университета “Высшая школа экономики”, доктор физико-математических наук, профессор. Специалист в области физики конденсированного состояния, космического и радиационного материаловедения. E-mail: bondarenko_gg@rambler.ru.
Столяров Александр Алексеевич — Калужский филиал Московского государственного технического университета им. Н.Э.Баумана, заместитель директора, доктор технических наук, профессор. Специалист в области физики полупроводниковых и диэлектрических материалов. E-mail: p1kf@bmstu- kaluga.ru.
Коротков Сергей Игоревич — Калужский филиал Московского государственного технического университета им. Н.Э.Баумана, аспирант. Специалист в области материалов электронной техники. E-mail: p1kf@bmstu-kaluga.ru.
№7 - 2013