Выпуски журналаIssues of the journal

 
К списку номеров Back to the list
К оглавлению Back to Contents
номер страницы: 37page number: 37

СИНТЕЗ И ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПЛЁНОК BCxNy, ПОЛУЧЕННЫХ ИЗ СМЕСИ N-ТРИМЕТИЛБОРАЗИНА И ВОДОРОДА (В. С. Суляева, М. Л. Косинова, Ю. М. Румянцев, Б. М. Аюпов, В. Г. Кеслер, Ф. А. Кузнецов)

Резюме: Resume:

Методом плазмохимического осаждения из газовой фазы с использованием N-триметилборазина (ТМБ) в качестве исходного вещества и водорода, как активирующего газа, синтезированы плёнки карбонитрида бора различного состава. В ходе экспериментов варьировали температуру осаждения, остальные условия процесса поддерживали постоянными. Свойства полученных плёнок изучены методами эллипсометрии, сканирующей электронной микроскопии, ИК-, энергодисперсионной и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и спектрофотометрии. Установлено, что температура подложки оказывает влияние на кинетику роста и физико-химические свойства слоёв карбонитрида бора в изученном интервале условий синтеза. Определены условия получения плёнок карбонитрида бора, прозрачных в УФ- и видимой области спектра. Предложена методика определения оптической ширины запрещённой зоны Eg и энергии Урбаха E0, и найдены зависимости Eg и E0 от температуры синтеза слоёв BCxNy.

Ключевые слова: N-триметилборазин, карбонитрид бора, плазмохимическое осаждение из газовой фазы, ширина запрещённой зоны, энергия Урбаха.

 

Суляева Вероника Сергеевна — Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского Отделения РАН, младший научный сотрудник. Специалист в области материаловедения. E-mail: veronica@niic.nsc.ru.

Косинова Марина Леонидовна — Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского Отделения РАН, кандидат химических наук, заведующая лабораторией. Специалист в области физической химии и материаловедения. E-mail: marina@niic.nsc.ru.

Румянцев Юрий Михайлович — Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского Отделения РАН, кандидат химических наук, ведущий научный сотрудник. Специалист в области физической химии и материаловедения.

Аюпов Борис Мингареевич — Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского Отделения РАН, доктор технических наук, ведущий научный сотрудник. Специалист в области исследования оптических свойств материалов. E-mail: ayupov@niic.nsc.ru.

Кеслер Валерий Геннадьевич — Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского Отделения РАН, кандидат физико-матема- тических наук, старший научный сотрудник. Специалист в области физики поверхности, физики полупроводников и диэлектриков. E-mail: kesler@isp.nsc.ru.

Кузнецов Фёдор Андреевич — Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского Отделения РАН, академик РАН. Специалист в области физической химии и материаловедения. E-mail: fk@niic.nsc.ru. 

№7 - 2013

Авторы: Authors:
В. С. Суляева, М. Л. Косинова, Ю. М. Румянцев, Б. М. Аюпов, В. Г. Кеслер, Ф. А. Кузнецов