МЕТОДИКА КОЛИЧЕСТВЕННОГО РЕНТГЕНОСПЕКТРАЛЬНОГО МИКРОАНАЛИЗА С УЧЕТОМ МАТРИЧНЫХ ЭФФЕКТОВ (Н. Н. Михеев, М. А. Степович, Е. В. Широкова, М. Н. Филиппов)

Рассмотрены возможности корректного использования матричных поправок на поглощение анализируемого рентгеновского характеристического излучения, тормозную способность мишени и обратное рассеяние первичных электронов пучка при решении прямой задачи количественного рентгеноспектрального микроанализа.

Ключевые слова: количественный рентгеноспектральный микроанализ, матричные поправки, характеристическое рентгеновское излучение.

Михеев Николай Николаевич — Филиал Федерального государственного бюд- жетного учреждения науки — Института кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН – Научно-исследовательский центр “Космическое материаловедение” (г. Калуга), кандидат физико-математических наук, ведущий научный сотрудник, специалист в области количественной электронно-зондовой микроскопии, взаимодействия заряженных частиц с веществом, полупро- водниковой оптоэлектроники. E-mail: kmikran@spark-mail.ru.

Степович Михаил Адольфович — ФГБОУ ВПО “Калужский государственный университет им. К.Э. Циолковского” (г. Калуга), доктор физико-матема- тических наук, заведующий кафедрой, cпециалист в области локальной диагностики конденсированного вещества, катодолюминесцентной микро- скопии. E-mail: m.stepovich@ramdler.ru.

Широкова Екатерина Васильевна — Калужский филиал ФГОБУ ВПО “Финансовый университет при Правительстве Российской Федерации” (г. Калуга), старший преподаватель, специалист в области количественного электронно-зондового микроанализа. E-mail: kate-info@inbox.ru.

№2 – 2014 г.