Выпуски журналаIssues of the journal

 
К списку номеров Back to the list
К оглавлению Back to Contents
номер страницы: 20page number: 20

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ СИЛЬНОПОЛЕВОЙ ИНЖЕКЦИОННОЙ МОДИФИКАЦИИ И ДЕГРАДАЦИИ МДП-СТРУКТУР

Резюме: Resume:
Предложена модель модификации и деградации МДП-структур с термической плёнкой SiO2, пассивированной слоем фосфорно-силикатного стекла, в условиях управляемой сильнополевой туннельной инжекции электронов в диэлектрик. Исследованы процессы зарядовой деградации и модификации МДП-структур Si-SiO2-Al, Si-SiO2-ФСС-Al и Si-SiO2-поликремний при сильнополевой туннельной инжекции электронов. Моделирование процессов зарядовой деградации с учетом распределения локальных электрических полей в системе Si-SiO2-ФСС-Al указывает на существенное ослабление генерации дырок в слое ФСС. Показано, что процессы изменения зарядового состояния двуокиси кремния, пассивированной фосфорно-силикатным стеклом, необходимо рассматривать с учетом изменения параметров захваченных зарядов и локальных электрических полей в диэлектрике.

Авторы: Authors:
В.В.Андреев, Г.Г.Бондаренко, В.Т.Дегтярев, А.А.Столяров, В.Е.Драч