МЕХАНИЗМЫ ОБРАЗОВАНИЯ ТОЧЕЧНЫХ ДЕФЕКТОВ НА ПОВЕРХНОСТИ КВАРЦЕВОГО СТЕКЛА ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ПЛАВИКОВОЙ КИСЛОТЫ НА ЗАЩИТНОЕ МОЛИБДЕНОВОЕ ПОКРЫТИЕ (А. М. Минкин, Д. Д. Ларионов, Т. Д. Ратманов, А. А. Кетов, Я. И. Вайсман)

Исследованы факторы, способствующие проникновению плавиковой кислоты через защитное молибденовое покрытие к поверхности кварцевого стекла и образованию на нем точечных дефектов — пинхолов. Построена математическая модель процесса диффузии плавиковой кислоты вдоль межзеренных границ защитного покрытия, которое имеет столбчатую микрокристаллическую структуру. Для защитных молибденовых покрытий, полученных с помощью магнетронного распыления, установлено, что при толщинах от 1,2 до 2,4 мкм количество точечных дефектов поверхности стеклянной подложки определяется качеством ее подготовки, а также величиной и характером внутренних напряжений в покрытии. Показано, что текстурированные пленки молибдена, с преимущественной кристаллографической ориентацией (211), обладают более высокими защитными свойствами, в отличие от покрытий со смешанной ориентацией (110) и (211).

Ключевые слова: кварцевое стекло, жидкостное травление, пленка молибдена, межзеренная диффузия, внутренние напряжения, пинхолы, текстурированные пленки.

Минкин Александр Михайлович — ПАО “Пермская научно-производственная приборостроительная компания” (г. Пермь, 614990, ул. 25 Октября, 106), начальник лаборатории, аспирант Пермского национального исследовательского политехнического университета, специалист в области физической химии. E-mail: minkin.90@gmail.com.

Ларионов Дмитрий Денисович — ПАО “Пермская научно-производственная приборостроительная компания” (г. Пермь, 614990, ул. 25 Октября, 106), инженер-исследователь, аспирант Пермского национального исследовательского политехнического университета, специалист в области тонкопленочной технологии. E-mail: dimlar855@gmail.com.

Ратманов Тимофей Дмитриевич — ПАО “Пермская научно-производственная приборостроительная компания” (г. Пермь, 614990, ул. 25 Октября, 106), ведущий инженер-технолог, магистр Южно-Уральского государственного университета, специалист в области материаловедения. E-mail:  ratmanovtd@gmail.com.

Кетов Александр Анатольевич — Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования “Пермский национальный исследовательский политехнический университет” (614990, Пермский край, г. Пермь, Комсомольский проспект, д. 29), профессор кафедры Охраны окружающей среды, специалист в области материаловедения. E-mail: alexander_ketov@mail.ru.

Вайсман Яков Иосифович — Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования “Пермский национальный исследовательский политехнический университет” (614990, Пермский край, г. Пермь, Комсомольский проспект, д. 29), профессор, специалист в области материаловедения. E-mail: eco@pstu.ru.

____________________________________________________________________________

№6 – 2017 г., с. 41 - 49