Выпуски журналаIssues of the journal
К списку номеров Back to the list К оглавлению Back to Contents номер страницы: 82page number: 82ОСОБЕННОСТИ РАЗЛЕТА ЭРОЗИОННОГО ФАКЕЛА И ФОРМИРОВАНИЕ ПЛЕНОК MoSx ПРИ ИМПУЛЬСНОМ ЛАЗЕРНОМ ОСАЖДЕНИИ В БУФЕРНОМ ГАЗЕ
Резюме:
Resume:
Исследовано поверхностное распределение элементного состава пленок MoSx при импульсном лазерном осаждении в буферном газе (аргоне) при давлениях до 8 Па. Установлено, что повышение давления позволяет изменять концентрацию серы в пленках, осаждаемых с относительно высоким лазерным флюенсом. Выявлены условия получения пленок стехиометрического состава на основной зоне осаждения и рассмотрены эффекты, которые могут оказывать влияние на формирование состава пленок при разлете лазерного факела в буферном газе. №1-2001 г.
Авторы:
Authors:
В.Н.Неволин, В.Ю.Фоминский, А.Л.Смирнов, А.В.Ковешников