Выпуски журналаIssues of the journal

 
К списку номеров Back to the list
К оглавлению Back to Contents
номер страницы: 40page number: 40

РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ УПРАВЛЯЕМОГО НАНЕСЕНИЯ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК

Резюме: Resume:
Рассмотрены вопросы, связанные с разработкой технологии управляемого нанесения углеродных пленок  ионно-плазменными методами для получения  слоев, заменяющих  SiO2. Представлены результаты исследований углеродных пленок в процессе их роста и травления в реальном масштабе времени  методом рентгеновской рефлектометрии. Толщина пленки, скорость роста, плотность и шероховатость поверхности рассчитывались из временной зависимости коэффициента отражения рентгеновского излучения на длине волны 1,54 А. Предложен способ получения углеродных пленок со сверхгладкой поверхностью.  Показано, что параметры исследованных углеродных слоев не изменяются при нагреве до 550°С.
 №3 – 1999 г. 

Авторы: Authors:
А.М.Баранов