Выпуски журналаIssues of the journal
К списку номеров Back to the list К оглавлению Back to Contents номер страницы: 35page number: 35ТВЕРДОФАЗНОЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ В ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ СТРУКТУРЕ Pt-Si (111) ПО ДАННЫМ УЛЬТРАМЯГКОЙ РЕНТГЕНОВСКОЙ ЭМИССИОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ И РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ
Резюме:
Resume:
Методом ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии (УМРЭС) и рентгеновской дифракции изучено образование фаз в структуре тонкая пленка Pt(50нм)-Si(111) при вакуумном термическом отжиге и обработке излучением ксеноновой лампы на воздухе. При послойном анализе тонких пленок путем варьирования энергии электронов, возбуждающих рентгеновские спектры, а также снятия слоев ионной бомбардировкой или химическим травлением, использовалась зависимость тонкой структуры рентгеновских спектров от фазового состава слоев. В результате впервые удалось получить ультрамягкие эмиссионные рентгеновские спектры Pt N6,7 и Si L2,3 тонкопленочного силицида Pt12Si5. В зависимости от температуры вакуумного отжига в интервале 530-770 К и длительности 10-240 мин наблюдалось образование следующих типов структур: Pt-Pt12Si5-Si, Pt12Si5-PtSi-Si и PtSi-Si; под действием излучения ксеноновой лампы на воздухе формировалась структура Pt,SiO2-Pt12Si5-PtSi-Si. №3 – 1997 г.
Авторы:
Authors:
Э.П.Домашевская, Ю.А.Юраков, В.М.Кашкаров