Выпуски журналаIssues of the journal

 
К списку номеров Back to the list
К оглавлению Back to Contents
номер страницы: 86page number: 86

РЕАЛИЗАЦИЯ НОВОГО ПОДХОДА К АТТЕСТАЦИИ ФОТОРЕЗИСТОВ

Резюме: Resume:
Рассмотрены основные подходы к промышленной аттестации фоторезистов. Описана конструкция стенда аттестации фоторезистов (САФР), управляемого компьютером, позволяющего оперативно проводить аттестацию фоторезистов. Приведены методики определения основных параметров фоторезистов на САФР, с помощью которых проводится компьютерное моделирование и аттестация фоторезистов. Представлены экспериментальные результаты измерений на САФР.
 №3 – 1997 г. 

Авторы: Authors:
И.Я.Смоляницкий, Н.Ю.Лубашевская, Е.Н.Кудрявцев