Выпуски журналаIssues of the journal

 
К списку номеров Back to the list
К оглавлению Back to Contents
номер страницы: 16page number: 16

ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ФОРМИРОВАНИЯ НА ЛОКАЛЬНУЮ ПЛОТНОСТЬ ЭЛЕКТРОННЫХ СОСТОЯНИЙ АМОРФНЫХ ПЛЕНОК КАРБИДА КРЕМНИЯ

Резюме: Resume:

Методом ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии (УМРЭС) изучено влияние условий формирования (мощность ВЧ-разряда и температура подложки) на характер энергетического распределения валентных состояний кремния в аморфных пленках карбида кремния, полученных ВЧ-распылением мишени из поликристаллического карбида. Установлено существование оптимальных условий, при которых координация атомов кремния в наибольшей степени приближается к их координации в кристалле. При этих условиях плотность занятых локализованных состояний минимальна. 

№5 – 1997 г.

Авторы: Authors:
В.А.Терехов, В.А.Лигачев, Н.С.Ковалева, В.М.Кашкаров, И.С.Суровцев, Э.П.Домашевская